8月30日,“维科杯·OFweek2023激光行业年度评选”颁奖典礼在深圳福田会展中心成功举办。
英诺激光参选的“激光扫描光声显微镜Insight- RSPAM series”
被授予维科杯0Fweek 2023 年度激光行业-最佳激光行业应用案例奖。
英诺激光获“最佳激光行业应用”奖
“维科杯”旨在表彰激光行业具有突出贡献的优秀产品、技术及企业、人物,
鼓励更多企业投入技术创新,同时为行业输送更多创新产品、前沿技术,
以提高生产力、经济效益;给用户提供更大便利;引导行业良性快速发展。
维科杯颁奖典礼现场合照
日前,“红光奖”(”Secret Light Awards” ,简称SLA)第六届激光行业创新贡献奖颁奖典礼在深圳举办。
“红光奖”是中国激光行业创新贡献奖组委会、激光制造网联合业界权威专家及国内多家激光行业协会、
激光学会、激光产业联盟共同打造的激光行业全产业链顶级大奖。
英诺激光凭借“超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ”
经过为期2个月的初选、网络评审、专家评审多个环节,最终获得众多网友及专家评委的认可,
荣获超快激光器创新贡献奖,继2021年第四届激光行业创新贡献奖再次获此殊荣。
“红光奖”超快激光器获奖合照
此次公司申报参与奖项评选的“超快深紫外皮秒激光器 AMT-266-3W-70MHZ”
是国内首先推出工业化的高重频、高功率深紫外固体激光器,
拥有衍射极限的光束质量,极窄的光谱线宽,长期稳定可靠,核心指标(光束质量M平方因子、光谱线宽、单点和整机寿命)
达到国际同行(美国Coherent、日本Oxide)领先水平,是成熟的工业级产品。
目前通过国内行业关键客户的性能测试和单点1000hrs 寿命测试,
达到28nm以及更先进制程的晶圆缺陷检测设备的需求,实现小批量生产。
高重频、高功率深紫外超快激光器是晶圆缺陷检测装备的核心部件,
长期被国外垄断,并且面临被卡脖子风险。英诺激光率先打破国外在深紫外激光领域的垄断,
实现国产替代,解决“卡脖子”问题,推动我国半导体和集成电路产业的升级,助力提升国家高端制造能力。
深紫外超快AMT系列激光器